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銅粉燒結(jié)石墨盤的成型工藝中,要害步驟直接影響最終產(chǎn)品的功能和質(zhì)量。以下是成型工藝中的核心環(huán)節(jié)及其重要性剖析:
1.原料挑選與預(yù)處理
銅粉挑選:需依據(jù)產(chǎn)品需求挑選純銅粉、銅合金粉(如銅-錫、銅-銀合金)或摻雜納米顆粒的復(fù)合銅粉。純銅粉適用于高導(dǎo)電性場景,合金粉可進(jìn)步硬度或耐蝕性。
石墨粉挑選:優(yōu)先選用高純度(>99.9%)、粒度均勻(10-50μm)的天然或人造石墨粉,保證導(dǎo)熱性與機(jī)械強(qiáng)度。
原料預(yù)處理:銅粉需進(jìn)行外表清潔(去除氧化層)、球磨細(xì)化(改進(jìn)粒度散布),石墨粉需進(jìn)行枯燥處理(避免水分影響燒結(jié))。
2.粉末混合與均勻化
混合方式:
機(jī)械干混:適用于簡略配方,但易發(fā)生團(tuán)聚。
濕法混料:參加無水乙醇或異丙醇作為分散劑,經(jīng)過超聲波或球磨完成納米級均勻混合,避免成分偏析。
增加劑引進(jìn):增加少量硬脂酸鋅或聚乙烯醇作為潤滑劑,下降限制過程中的摩擦力,進(jìn)步坯體密度。
3.成型工藝挑選與優(yōu)化
冷壓成型:
單向限制:適用于簡略形狀,但易發(fā)生密度梯度。
雙向限制:經(jīng)過上下模沖同步施壓,削減密度不均,適用于雜亂形狀。
等靜壓成型:
冷等靜壓(CIP):在高壓液體(如水或油)中均勻施壓,坯體密度可達(dá)理論密度的90%以上,適用于高精度產(chǎn)品。
熱等靜壓(HIP):在高溫高壓下同時(shí)進(jìn)行致密化,消除孔隙,但成本較高。
要害參數(shù):
限制壓力:通常為200-500MPa,需依據(jù)銅粉和石墨粉的壓縮性調(diào)整。
保壓時(shí)刻:10-30秒,保證應(yīng)力松弛,削減彈性后效。
4.脫脂與預(yù)燒結(jié)(如有必要)
脫脂意圖:去除成型過程中增加的有機(jī)粘結(jié)劑或潤滑劑,避免燒結(jié)時(shí)發(fā)生氣孔或裂紋。
脫脂方法:
熱脫脂:在惰性氣氛(如氮?dú)饣驓鍤猓┲芯徛郎刂?00-600℃,保溫2-4小時(shí)。
溶劑脫脂:運(yùn)用有機(jī)溶劑(如丙酮)浸泡,適用于雜亂結(jié)構(gòu)。
預(yù)燒結(jié):在較低溫度(600-800℃)下進(jìn)行短時(shí)刻燒結(jié),初步固定坯體形狀,削減后續(xù)燒結(jié)變形。
5.燒結(jié)工藝操控
燒結(jié)氣氛:
復(fù)原性氣氛:如氫氣或分化氨,避免銅氧化,適用于高純度產(chǎn)品。
真空燒結(jié):壓力低于10?3 Pa,避免雜質(zhì)引進(jìn),適用于精細(xì)部件。
燒結(jié)溫度與時(shí)刻:
溫度:850-950℃,需依據(jù)銅粉粒度和石墨含量調(diào)整。
時(shí)刻:1-3小時(shí),保證銅顆粒充分分散結(jié)合。
升溫與冷卻速率:
升溫速率:5-10℃/min,避免熱應(yīng)力導(dǎo)致開裂。
冷卻速率:隨爐冷卻或操控冷卻速率(如2-5℃/min),避免銅相變引起體積變化。
6.后處理與功能進(jìn)步
外表處理:
打磨與拋光:去除燒結(jié)外表的氧化層或毛刺,進(jìn)步外表光潔度。
涂層處理:噴涂碳化硅或氮化硼涂層,進(jìn)步耐磨性和抗氧化性。
熱處理:
時(shí)效處理:在200-300℃下保溫?cái)?shù)小時(shí),消除內(nèi)應(yīng)力,安穩(wěn)尺度。
滲碳處理:在含碳?xì)夥罩屑訜?,進(jìn)步外表硬度。
質(zhì)量檢測:
密度測驗(yàn):運(yùn)用阿基米德排水法,保證密度≥95%理論密度。
硬度測驗(yàn):采用維氏硬度計(jì),檢測外表硬度。
導(dǎo)電性測驗(yàn):運(yùn)用四探針法,保證電阻率≤5×10?? Ω·cm。
要害步驟總結(jié)
步驟 要害點(diǎn)
原料挑選 銅粉純度、石墨粒度、增加劑類型
粉末混合 濕法混料均勻性、潤滑劑增加量
成型工藝 等靜壓壓力與保壓時(shí)刻、雙向限制削減密度梯度
脫脂與預(yù)燒結(jié) 脫脂溫度與時(shí)刻、惰性氣氛保護(hù)
燒結(jié)操控 燒結(jié)溫度與時(shí)刻、升溫/冷卻速率、真空度
后處理 外表涂層、時(shí)效處理、密度與硬度檢測
工藝優(yōu)化建議
進(jìn)步密度均勻性:采用冷等靜壓+熱等靜壓組合工藝,保證坯體密度≥98%理論密度。
削減燒結(jié)缺點(diǎn):在燒結(jié)前進(jìn)行X射線衍射(XRD)剖析,優(yōu)化銅粉與石墨粉的相容性。
進(jìn)步功能:經(jīng)過摻雜納米碳化鈦(TiC)顆粒,進(jìn)步硬度與耐磨性。
經(jīng)過嚴(yán)格操控上述要害步驟,銅粉燒結(jié)石墨盤可完成高密度、高導(dǎo)熱性和優(yōu)異的機(jī)械功能,滿足電子封裝、熱管理等領(lǐng)域的高要求。
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